以动态图的方式浅谈电容式压力传感器

　　通常，圆形金属膜或金属镀膜被用作电容器的电极。当薄膜受到压力变形时，薄膜与固定电极之间形成的电容发生变化，通过测量电路可以输出与电压有一定关系的电信号。电容式压力传感器属于极距变化型电容式传感器，分为单电容式压力传感器和差动电容式压力传感器。

单电容压力传感器

　　它由一个圆形薄膜和一个固定电极组成。薄膜在压力下变形，从而改变电容器的容量。其灵敏度大致与薄膜的面积和压力成正比，与薄膜的张力和薄膜到固定电极的距离成反比。另一类固定电极为凹球面，振膜为周边固定的张力平面。隔膜可以由镀塑料的金属层制成。这种类型适用于测量低电压，过载能力高。具有活塞移动极的隔膜也可以用于制造用于测量高电压的单个电容式压力传感器。这种类型可以减少振膜的直接压缩面积，从而可以使用更薄的振膜来提高灵敏度。还封装了各种补偿保护部门和放大电路，提高抗干扰能力。这种传感器适用于测量飞机的动态高压和遥测。单电容式压力传感器包括麦克风型、麦克风型和听诊器型。

 差分压力传感器

　　压缩隔膜电极位于两个固定电极之间，形成两个电容器。在压力的作用下，一个电容的容量增大，另一个电容的容量相应减小，测量结果由差动电路输出。它的固定电极是在凹面玻璃表面镀一层金属制成的。当过载发生时，凹面保护隔膜不破裂。差压传感器比单电容具有更高的灵敏度和更好的线性度，但加工难度大，特别是要保证对称性，不能隔离被测气体或液体，因此不适合在腐蚀性或杂质流体中工作。